今年9月22日,美国商务部公布《2022年芯片和科学法案》(简称《芯片法案》)的最后执行细则，其中包括禁止美国受补贴企业在未来10年内为受关切国家（中国、俄罗斯等）半导体企业扩建洁净室或生产线空间。“此法案维护美国在半导体领域的优势地位，会对中国的芯片等半导体及泛半导体产业造成较大冲击。执行细则一出，以上海市室内净化行业协会为首，长三角洁净产业迅速行动，携手共同应对此细则对中国半导体企业带来的影响。”上海市室内环境净化行业协会副秘书长李笑宇表示。

洁净产业是半导体产业的重要支撑，长三角地区的洁净产业是国内最重要的洁净产业基地，是洁净工程设计、工程服务、洁净维护结构、洁净空调、过滤器、过滤材料、传感装备等洁净产业链的集聚中心，长三角特别是在上海，集成电路洁净车间应用场景最高端、完善和集聚，上海市已率先将洁净产业纳入上海市服务业“十四五”规划。

集成电路洁净车间所使用的核心材料如特水、特气等核心装备系统、零部件依赖外资产品，这些外资产品在中国市场的占有率非常高。随着中美贸易摩擦的持续升级，洁净产业安全发展面临断供的风险，影响集成电路产业的发展。

“美国《芯片法案》执行细则实施，对中国集成电路企业洁净室影响最大的是特水、特气等核心零部件处理设备，这些设备是保证集成电路生产车间安全稳定运转的关键设施。鉴于国内的产品性能稳定性差，管理不完善，芯片生产企业基本都进口此类设备，一旦这个卡脖子技术应用被掐断，对中国整个芯片生产企业都会有影响。”李笑宇解释。

“因此需要对洁净产业安全水平进行监测，搭建长三角洁净产业安全合作平台。”李笑宇表示。今年9月份美国《芯片法案》的执行细则颁布后，上海市室内环境净化行业协会立即向上海市商委申报上海市国家外经贸发展公平贸易专项项目——建设长三角洁净产业安全监测工作站，工作站对长三角洁净产业进行安全监测。

协会在工作站的基础上搭建长三角洁净产业安全合作平台，引导企业、科研院所推进洁净产业技术提升和产品研发，在平台上进行技术交流、技术交易和快速转化，目标推动洁净产业卡脖子技术国产化替代，实现洁净产业升级。

近年来，以美国为首的国家对华贸易管制逐步加大，对中国以芯片及关联产品和关联行业出台一系列措施。我国洁净产业及其所保障和支撑的集成电路产业面临前所未有的发展挑战。

塞维索斯是一家为集成电路企业的洁净室生产车间提供洁净室环境控制系统的企业，这套系统是保证洁净室洁净度的中枢，能够维持洁净室稳定运转。“暂时还没收到美国《芯片法案》执行细则在中国的执行禁令，对公司发展暂时还没影响，后面看情况公司再决定怎么走。”苏州塞维索斯自动化设备有限公司总经理丁现阳说。

苏州保酚是一家为集成电路企业的洁净室建设提供洁净室系统的设计、安装、售后等服务的企业，在国内有多个成功的案例，包括英特尔，英飞凌，德州仪器，格罗方德，中芯国际、长江存储等头部芯片生产企业。保酚服务的客户中，国内客户占70%，国外客户占30%。

“中美贸易摩擦对我公司的发展影响很大，一些原本在中国芯片生产企业洁净室订单被取消，公司接下来在东南亚、马来西亚、 德国、美国等国家寻找项目机遇。”苏州保酚环境科技有限公司总经理吴海燕表示。

对于有些中国洁净产业企业，美国《芯片法案》执行细则实施及中美贸易摩擦则更有利于科技企业自身的发展，促使企业加快独立自主研发，实现国产化替代。

如洁净室测量尘埃粒子所使用的粒子计数器，“国外生产的高精度粒子计数器禁止销售给中国被制裁的企业，普通仪器的供货周期达到9个月以上。期间，中国集成电路洁净车间的售后服务如检修、标定校准得不到保证，迫使企业使用国产的粒子计数器替代，以达到自主可控的目的。”苏州苏信环境科技有限公司研发部负责人王少永表示，“苏信在0.1微米粒子在线监测设备方面已经投入大量研发，在产品的精密度、稳定性方面争取跟进口产品的品质相媲美。”王少永说。

11月22日，2023洁净&泛半导体高质量发展论坛将在上海召开，该论坛瞄准半导体行业痛点及市场需求，共同探讨中美贸易摩擦背景下的产业发展路径与未来愿景。

论坛由上海市经济和信息化委员会指导，上海市室内环境净化行业协会、上海市集成电路行业协会、临港新片区集成电路产业联盟、上海临港产业区经济发展有限公司主办。（袁晓如）